| 模型 | ST050F*050 | ST220F*050 | ST350F*050 | |
| 涡轮分子泵模型 | TG50F | TG220F | TG350F | |
| 抽速(N 2;L/s) | 51(49) *1 | 220(210) *1 | 350(330) *1 | |
| 极限压力 | (帕) | <3× 10-6 | <1× 10-6 | |
| (托尔) | <2.3× 10-8 | <7.5×10 -9 | ||
| 进气法兰 | VG65/ISO-R63/CF63 | VG100/ISO-R100/CF100 | ||
| 辅助泵 |
旋转泵 50/60 L/min (50/60Hz) |
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| 冷却方式 | 风冷 | |||
| 电源 | 单相,AC100V | |||
| 标准设备配置 |
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