大阪真空 油旋片真空泵 ST350F

大阪真空 油旋片真空泵 ST350F
ST350F
模型 ST050F*050 ST220F*050 ST350F*050
涡轮分子泵模型 TG50F TG220F TG350F
抽速(N 2;L/s) 51(49) *1 220(210) *1 350(330) *1
极限压力   (帕)  <3× 10-6 <1× 10-6
 (托尔)  <2.3× 10-8 <7.5×10 -9
进气法兰 VG65/ISO-R63/CF63 VG100/ISO-R100/CF100
辅助泵 旋转泵
50/60 L/min (50/60Hz)
冷却方式 风冷
电源 单相,AC100V
标准设备配置
  • 涡轮分子泵体
  • 旋转泵
  • TMP控制器
  • 意法半导体控制器
  • 自动缓漏阀
  • 真空管道
  • 油雾捕集器
  • 铝制框架安装

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