NIKON 尼康 NSR-S625E ...

NIKON   尼康  NSR-S625E  ArF液浸式扫描光刻机
NIKON   尼康  NSR-S625E  ArF液浸式扫描光刻机


NIKON   尼康     NSR-S625E      ArF液浸式扫描光刻机

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支持多重曝光,实现了高精度与
高产出的ArF液浸式扫描光刻机

分辨率 ≦ 38 nm
NA 1.35
曝光光源 ArF excimer laser (193 nm wavelength)
缩小倍率 1 : 4
*曝光范围 26 mm x 33 mm
重合精度 MMO : ≦ 2.5 nm
产出 ≧ 280 wafers / hour (96 shots)



买家须知
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2.报价均为单配件费用--不含技术。如涉及安装调试等技术问题,不在售后范围!谢谢理解!
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