ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM800A-MS

ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM800A-MS

涡轮分子泵是实现高真空环境的重要设备，广泛用于半导体制造和研究设施。 该泵通过高速移动分子来有效地产生真空。

涡轮分子泵由高速旋转的转子和固定定子组成。 转子的叶片与分子碰撞，使分子加速流向排气口，从而产生真空。 这个过程利用分子的动能并且非常高效。

与其他真空泵相比，涡轮分子泵具有非常高的抽速，可以快速准备真空环境，并且由于不使用油，可以提供清洁的真空环境，非常适合半导体制造等精密工作，并且具有从低真空到高真空的广泛适用性，并应用于各种行业和研究领域。

这是一种涡轮分子泵，带有一个使用磁浮轴承的独立控制器。 我们拥有排气速度为 300~4000L/s 的型号阵容。 控制器可以监控运行状态并支持各种通信标准。

长处

泵体和控制器部分分离，

可在控制器部分监控运行状态，并兼容各种通信标准。

自由安装方向 由于对

安装方向没有限制，因此扩大了设备设计的自由度。

抽速 300L/s ~ 4000L/s 级

可在泵速的 25 ~ * 范围内改变变

速，并可调节腔室压力。

高耐用性和安全性 它已通过各种安全确认测试，例如

大气进入测试和着陆测试。

用

各种设备的

真空主排气系统 - 半导体制造设备

- 气相沉积设备

- 溅射设备

- 分析设备，实验室设备等

- 研发设施

轻工艺主排气系统，无副反应产物

其他高真空排气应用

表 1