福禄克molbox RFM流量测验设备

福禄克molbox RFM流量测验设备产品介绍
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molbox RFM 是一个辅助单元，可使用 molbloc-L 层流和 molbloc-S 声速流元件进行质量流量测量。

molbloc 流量元件通过两个压力连接件和一根数据线连接到 molbox RFM 上。molbox RFM 从 molbloc EEPROM 读取校准数据，并利用其内置的高精度参考压力传感器 (RPT) 测量 molbloc 的上游压力和下游压力。欧姆测量系统读取 molbloc 铂电阻测温仪的电阻，然后由此计算 molbloc 温度。利用存储在 molbox RFM 内存中的 molbloc 校准数据、压力、温度和气体属性，可计算出通过 molbloc 的气流流速。对于 molbloc-L 流量元件，在流量量程 10% FS 以下时，可以选择微量程选项来提高流量测量分辨度和度。

•结构紧凑
•molbloc-L 覆盖的流量量程从 1 sccm 到 100 slm，而 molbloc-S 覆盖的流量上限更是达到了 5000 slm
•从 20 种不同的气体中选择
•利用 100:1 可调性实现的测量不确定度 ±0.5% 读数
•内部阀门，可实现内置的清洗、泄漏测试和自重支持
•包括求和、取平均值、高值/低值及偏差等高级测量函数
•完善的前面板控制以及 RS232 和 IEEE-488 远程通信
•利用可由用户设置的参考压力和温度状态，测量质量和体积流量

流量测量技术指标
molbox RFM 可测量通过 molbloc 流量元件的流量。molbloc-L 的流量量程、可用工作压力和压力差，或者 molbloc-S 的流量量程、绝压量程，取决于所使用的 molbloc 元件和校准选项。请参阅 molbloc-L 和 molbloc-S 量程表，了解校准和量程详情。

molbloc-L 量程高可达 3E4，可通过微量程选项提高在 10% FS 以下时的分辨率和度。对于 1E5-L molbloc，必须使用微量程选项才能达到技术指标。

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