KAMAN埃米级高精度电涡流传感器详细应用,KAMAN埃米级电涡流传感器介绍,KAMAN埃米级电涡流传感器报价
KAMAN电涡流传感器SMT9700系统提供种类齐全的探头以供选择。
SMT9700电涡流传感器尺寸小巧
埃米级分辨率
有1、2或3通道可配电涡流探头
可配13种电涡流探头
工作温度：0～70oC(补偿范围15～55oC)
符合CE和RoHS标准
输出负载电流<20mA(有短路和过载保护)
供电电压：15～30V，<50mA(有容错保护、短路保护)
SMT-9700化学沉淀反应开始之前，用KAMAN电涡流传感器确保半导体晶片圆盘是平行于气体分散喷头（参见图1）。当然该传感器是用于校验过的，量程在半导体晶片圆盘位置限定之内。
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