| |  | | | | 米铱Micro-Epsilon电容系列精密位移
传感器的测量， 建立在理想化平板式电容
原理的基础上， 因此对所有导电材料无需
特别的线性校准， 即可得到高精度的测量
结果。通过线性校准后， 也可用于对半导
体和绝缘体材料的测量。
| | 米铱capaNCDT系列电容式位移传感器的
突出优点，是它的高分辨率和稳定性。其
高的机械加工精度及的信号屏蔽措施
使capaNCDT达到纳米级的精度． |
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capaNCDT 6300/6310
单通道位移传感器系列 | capaNCDT 6100
单通道位移传感器系列 | capaNCDT 6350
高精度单通道位移传感
器系列 | capaNCDT 6500
高精度多通道位移测量
系统 |
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传感器探头构成理想电
容的一个电极，被测物
体构成另一个电极。
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| | 高精度单通道位移传感器系列
线性量程：0.05/0.2/0.5/1/2/3/5/10 mm
误差：≤±0.2% FSO
分辨率：0.001% FSO
频率响应： 8 kHz (-3dB)
传感器适用温度：-50℃ 至 200℃
长期稳定性：≤0.02 % FSO/月 |
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| | 高精度单通道位移传感器系列
线性量程：0.05/0.2/0.5/1/2/3/5/10 mm
误差：≤±0.1 % FSO
分辨率：< 0.015 % FSO
频率响应：10Hz/2kHz (-3dB)(可切换）
探头适用温度：- 50℃ 至 +150℃
温度稳定性：<0.01%FSO/℃
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|  | | | 高频率响应单通道位移传感器系列
线性量程：0.05/0.2/0.5/1/2/3/5/10 mm
误差：≤±0.3 % FSO
分辨率：可至 0.005 % FSO
频率响应：50 kHz (-3dB)
探头适用温度：- 50℃ 至 +200℃
温度稳定性：0.01%FSO/℃
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| | 高精度组合式多通道位移测量系统
线性量程：0.05/0.2/0.5/1/2/3/5/10 mm
误差：≤±0.05 % FSO
分辨率：可至 0.000075 % FSO
频率响应：8 kHz (-3dB)
探头适用温度：- 50℃ 至 +200℃ |
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