MCES防腐标准气体质量流量控制器描述

MCES 系列防腐蚀 SEMI 标准气体质量流量控制器 配备 1/4 英寸 VCR 接头，并与 SEMI 标准 MFC 端到端匹配，以便轻松升级到真空沉积夹具。控制 128 多种气体的质量流量或压力，包括 30 多种腐蚀性气体。

插入式兼容性。外形包括焊接的 1/4 英寸 VCR 配件，并匹配 124 毫米端到端长度的 SEMI 标准 MFC。

腐蚀性气体相容性。与 30 多种纯腐蚀性气体和大多数制冷剂气体兼容的接液材料。

用途广泛且准确。对于 128 种以上的气体和 20 种自定义气体混合物，实时控制具有 NIST 可追溯的精度至读数的 ±0.5% 或满量程的 ±0.1%。

易于集成。 定制过程端口和电气连接器，以及您选择的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU 和 TCP/IP）或串行通信，以便轻松集成到您的工业过程中。

MCES 系列性能（大多数产品）

可用满量程范围： 0.5 SCCM 至 20 SLPM

稳态控制范围：满量程的 1% – *

标准精度校准，NIST 可溯源：读数的 ± 0.8% 和满量程的 ±0.2%

可选的高精度校准，NIST 可溯源：读数的 ±0.4% 或满量程的 ±0.2%

重复性：满量程的±0.2%

典型控制响应时间：*快 30 ms

预热时间：<1 s
 

MCES/MCVS 系列工作条件

兼容气体：  128 多种预加载的可选气体校准

工作温度： –10°C 至 +60°C

满量程工作压力： 160 PSIA

*压差：  75 PSID

耐压： 200 PSIA

用户可选择的参考条件（默认）：  25°C & 1 ATM (STP) 和 0°C & 1 ATM (NTP)

MCES防腐标准气体质量流量控制器设备特点

每个设备都包含

多变量过程测量：同时测量质量流量、体积流量、气体压力和气体温度。

用户可更改的测量单位：从我们广泛的工程单位列表中更改压力、流量或温度的测量单位。

气体可选性： 从我们气体列表中的 98 多种预加载 NIST 可溯源气体校准中选择您的工艺气体 。

Gas Select COMPOSER™： 使用我们的Gas Select Composer ™ 固件定义多达 5 种成分气体的 20 种自定义气体混合物。

带集成触摸板的单色背光 LCD： 使用背光显示屏和控制配置以及用户友好的集成触摸板轻松读取测量值。

用户可调节的设定点斜坡和限制：可配置的斜坡率允许根据需要控制过程变量的快或慢，可配置的设定点限制可保护过程免受无意的设定点更改。

用户可调节标准温度和压力 (STP) 条件： 快速 更改参考条件 ，无需重新校准。

阀门关闭覆盖和阀门打开覆盖：利用警报快速排放系统或根据需要停止所有流量。

MCES防腐标准气体质量流量控制器配件

工艺端口接头和过滤器

电源

通信电缆和转换电缆

BB3 和 BB9 多点分线盒