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应力测量范围:560nm(一级干涉光)以下;定性位置:全波长光程差560nm;检偏镜通光口径:直径150mm;台面玻璃通光口径:直径220mm;可测量样品大高度:250mm;定性位置:应力测量范围:应力测量范围:280nm(一级干涉光)以下:分辨率:0.2nm