Apreo场发射扫描电子显微镜

Apreo场发射扫描电子显微镜
Apreo 功能*为丰富的高性能 SEM Apreo 复合透镜结合了静电和磁浸没技术,可产生前所未有的高分辨率和材料对比度。 Apreo 是研究纳米颗粒、催化剂、粉末和纳米器件的理想平台,而不会降低磁性样品性能。传统的高分辨率 SEM 透镜技术分为两类:磁浸没或静电。FEI 首次将两种技术结合到一个仪器中。这样做所产生的成效远远过任一种镜筒的个体性能。两种技术均使电子束形成细小探针,以提高低电压下的分辨率,并使信号电子进入镜筒。通过将磁透镜和静电透镜组合成一个复合透镜,不但提高了分辨率,还增加了特有的信号过滤选项。静电-磁复合末级透镜在 1 kV 电压下的分辨率为 1.0 nm(无电子束减速或单色器)。

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