MPT-2JN/RL010

MPT-2JN/RL025

MPT-2JN/RL050

MPT-2JN/RL100

MPT-2JN/RL200

运动自由度

X,Y

X,Y

X,Y

X,Y

X,Y

行程范围
(μm±10%)

10X10

25X25

50X50

100X100

200X200

位移分辨率
(nm)

1

2.5

5

10

20

重复定位精度
(nm)

-/10

-/25

-/50

-/100

-/200

运动方向大推力
(N)

1000

1000

1000

300

300

运动方向大拉力
(N)

200

250

250

45

50

大负载
(Kg)

0.5

0.5

0.5

0.5

0.5

固有频率
(Hz)

750

500

400

200

140

重量
(g±5%)

300

400

800

950

1300

工作电压
(V)

0-150

0-150

0-150

0-150

0-150

工作温度范围
(℃)

-20～80

-20～80

-20～80

-20～80

-20～80

外型尺寸 A×B
(mm)

100×100

140×106

170×120

150×150

170×170

外型尺寸 C×D
(mm)

84×84

124×90

148×104

140×140

160×160

运动部分 K×L
(mm)

20×23.5

21×24.5

23×26.5

21×24.5

21×24.5

运动部分 E×F
(mm)

40×40

55×55

70×70

45×45

50×50

运动部分 H×I
(mm)

30×30

45×45

60×60

35×35

40×40

运动部分 G1×G2
(mm)

40×40

53×53

60×60

80×80

90×90

安装尺寸 M×N (mm)

4.5×8

4.5×8

5.5×10

4.5×8

4.5×8

安装尺寸 J

M4

M4

M4

M4

M4