该系列微动台属于3-RPS型三自由度微动并联机器人，通过压电陶瓷直接驱动柔性铰链，具有出力大、刚度高、结构紧凑、易于小型化、无摩擦、误差无积累等优点。微动并联机器人的应用主要集中在空间、隔振、医疗、光学、工业等领域。
| 型号 | MPT-3JN/RL030 |
| 运动自由度 | Z ,θx,θy |
| 行程范围(μ m±20%) | 30 |
| 转角范围(mrad±20%) | 0.6,0.6 |
| 位移分辨率(nm) | 3 |
| 重复定位精度(nm) | -/30 |
| 运动方向上刚度(N/μm±20%) | 2 |
| 大负载(Kg) | 0.5 |
| 固有频率(Hz±20%) | 500 |
| 工作温度范围(℃) | -20 ～ 80 |
