MPT-1ZN/RL100

MPT-1ZN/RL200

MPT-1ZN/RL350

运动自由度

Z

Z

Z

行程范围(μm±10%)

100

200

350

位移分辨率(nm)

10

20

35

重复定位精度(nm)

-/100

-/200

-/350

大负载(Kg)

1

1

1

重量(g±5%)

200

250

300

工作电压(V)

0～150

0～150

0～150

工作温度范围(℃)

-20～80

-20～80

-20～80

外型尺寸 A×B×C(mm)

60×35×30

80×35×30

100×35×30

运动部分 D×E(mm)

20×10

20×10

20×10

外形尺寸 F×G (mm)

44×45

44×45

44×45

安装尺寸 H×I(mm)

50×20

50×20

50×20

安装尺寸 K

M3

M3

M3

安装尺寸 J

M3

M3

M3