一维小体积式工作台

一维小体积式工作台


        该系列小体积大行程工作台通过特殊的放大机构设计,可实现小体积大行程的运动,大可实现X方向400μm的运动。采用柔性铰链机构作为导向机构,这种无摩擦柔性铰链机构提供了高的精度以及很高的快速响应时间,快速定位响应时间仅需要几毫秒,适合动态与静态的应用。



主要参数

 

MPT-1SNL080

MPT-1SNL120

MPT-1SNL160

MPT-1SNL400

MPT-1SRL080

MPT-1SRL120

MPT-1SRL160

MPT-1SRL400

运动自由度

X

X

X

X

X

X

X

X

行程范围
(μm±10%)

80

120

160

400

80

120

160

400

位移分辨率
(nm)

8

12

16

40

8

12

16

40

重复定位精度
(nm)

-

-

-

-

80

120

160

400

运动方向大推力
(N)

30

90

120

8

30

90

120

8

运动方向大拉力
(N)

5

15

20

-

5

15

20

-

运动方向刚度
(N/μm)

0.6

0.6

0.6

0.02

0.6

0.6

0.6

0.02

重量
(g±5%)

75

100

120

250

75

100

120

250

工作电压
(V)

0150

0150

0150

0150

0150

0150

0150

0150

工作温度范围
(
)

-2080

-2080

-2080

-2080

-2080

-2080

-2080

-2080

外型尺寸 A×B×C
(mm)

34×36.5
×24

34×46.5
×24

34×54.5
×24

52×74
×24

34×36.5
×24

34×46.5
×24

34×54.5
×24

52×74
×24

安装尺寸 D×E
(mm)

10×12

20×12

25×12

30×10

10×12

20×12

25×12

30×10

安装尺寸 F×G
(mm)

10×10

10×10

10×10

35×12

10×10

10×10

10×10

35×12

安装尺寸 H
(mm)

10

10

15

-

10

10

15

-

运动部分 M×N
(mm)

23.7×21

25.7×21

31.7×21

50.2×21

23.7×21

25.7×21

31.7×21

50.2×21

开环工作台匹配电源型号:HPV-1C0150A0500;闭环工作台匹配电源型号:PPC-1CR0150

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