MPT-1EN/RL050

MPT-1EN/RL100

MPT-1EN/RL200

运动自由度

X

X

X

行程范围(μm±10%)

50

100

200

位移分辨率(nm)

5

10

20

重复定位精度(nm)

-/50

-/100

-/200

运动方向大推力(N)

300

300

300

运动方向大拉力(N)

50

50

50

大负载(Kg)

1.5

1.5

1

固有频率(Hz)

750

450

150

重量(g±5%)

200

350

500

工作电压(V)

0～150

0～150

0～150

工作温度范围(℃)

-20～80

-20～80

-20～80

外型尺寸 A×C(mm)

75×65

90×80

110×100

运动部分 B×D(mm)

30×24

45×37

65×53

运动部分 E (mm)

47.7

55.2

65.2

中空尺寸 F(mm)

18

29

41

外形尺寸 G×H(mm)

20×21

20×21

20×21

安装尺寸 I×J(mm)

6×3.5

6×3.5

6×3.5

安装尺寸 K

M2

M2.5

M3