主要参数
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MPT-1LN/RL060 |
MPT-1LN/RL100 |
MPT-1LN/RL140 |
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运动自由度 |
Z |
Z |
Z |
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行程范围（μ m±10%） |
60 |
100 |
140 |
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位移分辨率（nm） |
6 |
10 |
14 |
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重复定位精度（nm） |
-/60 |
-/100 |
-/140 |
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大负载（Kg） |
1 |
1 |
1 |
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静电电容（uF±10%） |
90 |
120 |
140 |
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运动方向上刚度（N/μm±20%） |
0.2 |
0.2 |
0.2 |
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工作电压（V） |
0～150 |
0～150 |
0～150 |
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工作温度范围 (℃ ) |
-20 ～ 80 |
-20 ～ 80 |
-20 ～ 80 |
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外形尺寸A（mm） |
33 |
43 |
51 |
开环工作台匹配电源型号：HPV-3C0150A0500;闭环工作台匹配电源型号：PPC-1CR0150
