主要参数
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运动自由度
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位移量 (μm±10%)
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组成模块
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尺寸 A(mm)
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尺寸 B(mm)
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尺寸 C(mm)
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MPT-2MNL010
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X 、 Y
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10×10
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MPT-1DNL010
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60
|
50
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51
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MPT-2MNL025
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X 、 Y
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25×25
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MPT-1DNL025
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80
|
70
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54
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MPT-2MNL050
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X 、 Y
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50×50
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MPT-1ANL050
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100
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90
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58
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MPT-2MNL100
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X 、 Y
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100×100
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MPT-1ANL100
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120
|
110
|
54
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MPT-2MNL200
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X 、 Y
|
200×200
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MPT-1ANL200
|
150
|
140
|
54
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MPT-2MRL010
|
X 、 Y
|
10×10
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MPT-1DRL010
|
60
|
50
|
51
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MPT-2MRL025
|
X 、 Y
|
25×25
|
MPT-1DRL025
|
80
|
70
|
54
|
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MPT-2MRL050
|
X 、 Y
|
50×50
|
MPT-1DRL050
|
100
|
90
|
58
|
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MPT-2MRL100
|
X 、 Y
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100×100
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MPT-1ARL100
|
120
|
110
|
54
|
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MPT-2MRL200
|
X 、 Y
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200×200
|
MPT-1ARL200
|
150
|
140
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54
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开环工作台匹配电源型号：HPV-3C0150A0500;闭环工作台匹配电源型号：PPC-2CR0150
