主要参数
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MPT-3JN/RL010 |
MPT-3JN/RL025 |
MPT-3JN/RL050 |
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运动自由度 |
Z,θx,θy |
Z,θx,θy |
Z,θx,θy |
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转角范围(mrad±10%) |
± 0.4 |
± 0.8 |
± 1.0 |
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位移范围(μm±10%) |
10 |
25 |
50 |
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位移分辨率(nm) |
0.2 |
0.4 |
0.5 |
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重复定位精度(nm) |
-/2 |
-/4 |
-/5 |
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角位移分辨率(μrad) |
0.4 |
0.8 |
1 |
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角重复定位精度(μrad) |
-/4 |
-/8 |
-/10 |
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大负载(Kg) |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
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固有频率(Hz) |
1000 |
1000 |
800 |
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重量(g±5%) |
250 |
400 |
550 |
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工作电压(V) |
0-150 |
0-150 |
0-150 |
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工作温度范围(℃) |
-20～80 |
-20～80 |
-20～80 |
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外型尺寸 A |
60 |
80 |
100 |
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外型尺寸 B |
50 |
50 |
50 |
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外型尺寸 C（mm） |
40 |
40 |
40 |
开环工作台匹配电源型号：HPV-3C0150A0500 ;闭环工作台匹配电源型号：PPC-2CR0150
