运动自由度

位移量 (μm±10%)

组成模块

尺寸 A(mm)

尺寸 B(mm)

尺寸 C(mm)

MPT-3MNL010

X,Y,Z

10×10×10

MPT-1DNL010

58

61

91

MPT-3MNL025

X,Y,Z

25×25×25

MPT-1DNL025

60

81

112

MPT-3MNL050

X,Y,Z

50×50×50

MPT-1DNL050

64

111

144

MPT-3MNL100

X,Y,Z

100×100×100

MPT-1ANL100

60

121

152

MPT-3MNL200

X,Y,Z

200×200×200

MPT-1ANL200

60

141

182

MPT-3MRL010

X,Y,Z

10×10×10

MPT-1DRL010

58

61

91

MPT-3MRL025

X,Y,Z

25×25×25

MPT-1DRL025

60

81

112

MPT-3MRL050

X,Y,Z

50×50×50

MPT-1DRL050

64

111

144

MPT-3MRL100

X,Y,Z

100×100×100

MPT-1ARL100

60

121

152

MPT-3MRL200

X,Y,Z

200×200×200

MPT-1ARL200

60

141

182