◎应用原理
在高真空环境中都存在着一定的残余气体，
65％~95％是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，
但机械泵抽除残余气体的能力差，
时间长，而且残余气体是典型的*副作用的污染
气体，是工件的污染源，从而使产品的产量和质量
受到影响。Vapor Polycooler水汽深冷捕集泵则是解决
这类问题的上佳选择。
Vapor Polycooler的工作原理：将一个-100℃以下的低
温盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面
的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体，从而大大缩短抽
真空的时间（可缩短25％-75％的抽气时间）、获得洁净的真空环境
，提高产品的产量和质量，获得更高的商品价值。
Vapor Polycooler是一个低温制冷系统，通过在低温表
面的低温冷凝效应来捕集挥发性分子。主要用于开高
真空阀后捕集真空腔内的水汽，快速制冷和除霜，也用于返油*小化
控制。
◎产品优点
·温度可达到-120℃~-150℃。(*低可到-165℃)
·多种型号，*制冷量可达到3500W。
·*水汽抽速为250,000L/s，真空可达到1.5*10-12torr。
·快速捕集水汽、油蒸汽，在高真空系统中可缩短25％-75％的抽
气时间，提高真空系统生产能力约20%到*。
·改善镀膜的品质，提高薄膜的附着力和多层镀膜能力。
·8路温度显示和监控，包括负载的入口和出口、本机内部多级制
冷、排气、冷却水等温度。
·6组安全保护，包括温度、压力、电源相序及过载等。
·国际*制冷压缩机，绿色环保混合型制冷剂，高效可靠。
·完善的自动化控制，本地、远程可选，带RS485通信．
·一台机器可带2路负载输出，满足用户的不同需求．
◎6组安全保护
·排气压力过低
·排气压力过高
·排气温度过高
·冷凝温度过高或过低
·制冷机过载或过热
·电源相序异常
VPC系列水汽深冷泵，运用自有的核心技术，成熟的设计方案，所有机型采用单台压缩机，环保混合制冷剂，自动复叠制冷，制冷速度快、效率高、温度低、维护方便。
我们提供完整的冷却方案，帮助客户减少生产费用，改进制程表现，提高工作场所安全和增加生产可靠性。可替代液氮，节约成本。在实际应用当中，根据所放的位置不同可以
分为两类：
1、低温盘管 CryoCoil
低温盘管一般安装在真空室内，或高阀与真空室之间，适用于镀膜材料放气量较大的场合．低温盘管同时具备加热除霜功能，使低温盘管在每次开门之前恢复到常温，有利于下次抽真空。
2、低温挡板 CryoBaffle
安装在扩散泵上方，主要功能是防止油扩散泵的油气返流，同时也可以抽除水汽，提高真空度。
◎基本应用
·在光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统，可以用于真空室内抽吸水汽，也可以用于冷阱等冷却装置防止扩散泵返油。
|
型号 |
单位 |
VPC-200 |
VPC-500 |
VPC-1200 |
VPC-1800 |
VPC-3500 |
VPC-1200LT |
|
制冷量 |
W |
200 |
500 |
1200 |
1800 |
3500 |
420 |
|
工作温度 |
℃ |
-90~-135 |
-90~-135 |
-100~-145 |
-100~-145 |
-100~-145 |
-120~-165 |
|
水汽补集速度 |
I/sec |
12000 |
52000 |
74000 |
104000 |
250000 |
37250 |
|
极限真空度 |
torr |
2×10-9 |
2×10-9 |
2×10-9 |
2×10-9 |
1.5×10-8 |
4×10-12 |
|
低温盘管面积 |
m2 |
0.1 |
0.3 |
0.5 |
1.0 |
2.0 |
0.25 |
|
低温盘管外径 |
mm |
ф8 |
ф10 |
ф12 |
ф16 |
ф16 |
ф10 |
|
低温盘管长度 |
m |
4 |
10 |
12 |
14 |
40 |
8 |
|
预冷时间 |
min |
≤30 |
≤40 |
≤30 |
≤30 |
≤40 |
≤40 |
|
除霜时间 |
min |
N/A |
≤4 |
≤4 |
≤4 |
≤4 |
≤4 |
|
冷却方式 |
|
风冷（环境温度5-35℃） |
水 冷 （水 温 t ≤30 ℃） |
||||
|
冷却水接口 |
inch |
|
N/A |
1/2 |
1/2 |
3/4 |
1/2 |
|
电源要求 |
V/P/Hz kW |
220/1/50 1.2 |
380/3/50 4.5 |
380/3/50 6.5 |
380/3/50 8.5 |
380/3/50 11.6 |
380/3/50 11.2 |
|
外形尺寸 |
Wmm Dmm H mm |
500 520 980 |
600 620 1250 |
750 900 1650 |
750 900 1650 |
750 920 1650 |
750 920 1750 |
