Leica DM3 XL徕卡材料显微镜-微电子和半导体用快速检测检验系统：
Leica DM3 XL徕卡全手动正置材料显微镜，是特别适合微电子和半导体检测快速检测的检验系统。在微电子和半导体的检验、过程控制或缺陷和故障分析中，要求检测速度必须够快，才能满足快速做出反应的要求。DM3 XL显微镜充分利用特有的宏观物镜视场宽敞30%，快速扫描大到6"样品组件，检验系统凭借大视场能快速识别缺陷，提高工作效率。同时DM3 XL检验系统为中等预算用户提供了高端品质，是微电子和半导体理想的检验系统。
Leica DM3 XL徕卡材料显微镜-关键特征体现优势：
高效检验大到 6" 样品
• 0.7X放大倍率的宏观物镜实时采集35.7mm的视场，快速扫描大到6"的样品组件，更多细节尽收眼底，工作更高效
• 宏观物镜下可靠检测晶片边缘或中心显影不足区域、不均匀的径向膜厚度等
• 视场比普通物镜宽敞30%，能有效节省检验时间，快速检测、快速响应
LED照明适用任何相衬观察方法
• 徕卡特有的LED照明，提供恒定色温，亮度等级自由调节，真彩色成像，始终可看到相同颜色样品，并获得可复制的结果
• 适用于明场、暗场、微分干涉相衬、偏振、荧光和斜射照明
• LED使用寿命可达35000小时，低能耗，节约成本
以实惠价格享受徕卡的光学特性
• 采用斜射照明检验侧面、边缘或碎屑，从不同角度照亮样品，是简单有效的形貌可视方法
• 借助深暗场对比检测样品较低层中的微小划痕或小颗粒，此外暗场的大工作距离有利于保护珍贵样品免受损伤
多种载物台插件适合不同样品
• 载物台插件种类丰富，依据被检测样品形状和尺寸的选配
• 载物台尺寸：150 mm x 150 mm
• 供选配的载物台插件：金属插件、晶片支座或掩模支座
• 能实现载物台快速粗略或定位
直观明了工作更舒适
• 彩色编码功能对基本设置进行简化，提升工作速度，并减少操作失误
• 采用人体工学设计，舒适性好，操作更简单
| 系统 | Leica DM3 XL技术参数 | |
| 显微镜支架 | 固定的金属支架 | |
| 调焦 |
2档调焦（粗调/微调，采用1μm测微尺刻度，带顶部调焦限位装置）或 3档调焦（粗调/微调，采用1μm和4μm测微尺刻度，带顶部调焦限位装置） 扭矩粗调焦，可调载物台高度挡块 |
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| 载物台冲程 | 30mm | |
| 入射光 | 坚固的入射光轴，带4位反射镜转盘 | |
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适用于BF/DF/POL/DIC和FLUO： ›带斜射照明 ›带彩色编码光圈辅助（CCDA) ›带中心孔径可变光阑 ›带入射光滤片匣（双滤片，直径32mm） |
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下列光源可适应所有入射光轴： ›LED-灯箱，带入射光亮度内部显微镜空件 ›镜像室106，适用于两种光源的同步调整 ›荧光照明SFL 100、4000和7000 ›EL6000、Hg50、Hg100、Xe75 ›12V100W卤素光源（106或107/2系列灯箱），带独立变压器 |
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| 物镜转盘/物镜 |
5孔 BF/DF M32、6孔 BF M25物镜转盘： ›5X、10X、20X高反差平场消色差EPI物镜 ›2.5X-100X平场消色差EPI物镜 ›1.25X-100X平场半复消色差物镜 ›0.7X宏观50X、100X、150X平场复消色差物镜 |
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| LED照明 |
适用于所有相衬观察方法的LED ›在所有亮度等级下实现真彩色成像 ›自由调节 ›无需更换灯泡 – 无停机时间 ›可复制的结果 |
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| 载物台 |
有种类丰富的载物台插件供选择，适合多种类型和尺寸的试样检验： ›载物台尺寸：150x150mm ›载物台插件：金属插件、晶片支座或掩模支座 ›快速的粗略或载物台定位 |
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| 附件 | 选配放大倍率调节器（1X、1.5X、2X） | |
| 选配测量载物台，适用于X、Y和Z向测量 | ||
| 透射光 | 借助带光纤的外部冷光源照明 | |
| 电源 | 稳定的通用电源单元，90-230V | |
