Heidelberg DWL 8000 高级大型2D3D直写机

大面积瞄写系统:DWL 8000

Heidelberg DWL 8000 高级大型2D3D直写机

搭配海德堡的精密软件控制可以让您在大面积范围中,也可以瞄写2维和3维图形的DWL 8000系列,是针对微光学领域的2维和3维的微构造形式所制作。

对于激光图形生成器,MEMSDisplays sensors 都有加宽,加高的设计。DWL 8000的温度控制,动态的焦点追踪,closed loop位置决定,确保*布置和完全覆盖性的直写范围。

DWL 8000多年的经验累积,使Gray Scale曝光技术,可以更有效率于更小的系统上直写更大的区域范围。在使用高分辨率技术掩模板上,使用曝光强度经过调整的激光,可在连续表面上形成1个复杂的3维样式。

 

主要功能:

。*小描绘尺寸:0.7um

。*小直写尺寸:20nm

5种描绘模式

。可转换成自动描绘模式

。进阶3维绘画方式

。里测/校直用照相机系统

。选择线上(Online)传送绘画数据

。自动基板加载系统

。多种多样的绘画数据输入格式(DXFCIFGDSLLGerber,STL

Stage Map补正

Edge detectof unit

 

应用范围:

Micro-optics

MEMS

Display

Micro-sensor

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