英国Oxford牛津SRP-4面铜探头（CMI700/CMI600/CMI563/）

 SRP-4面铜探头测试技术参数

于Oxford牛津CMI760(CMI700)座台式孔面铜测厚仪

 l 准确度：5%，参考标准片

l 度：化学铜：标准差0.2 %，电镀铜：标准差0.3 %

l 分辨率：0.1μm≥10μm，0.01μm<10μm，0.001μm<1μm，0.01mils≥1 mil，0.001mils<1mil

l 厚度测量范围：化学铜：0.25μm–12.7μm（10μin–500μin）

电镀铜：2.5μm–254μm（0.1mil–10mil）

l 线性铜线宽范围：203μm–7620μm（8mil–300mil