无锡轮廓仪，三丰轮廓仪，常州轮廓仪，苏州轮廓仪
技术参数
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X轴 |
测量范围 |
100mm或200mm |
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分辨率 |
0.05μm |
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测量方法 |
反射型光栅尺 |
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驱动速度 |
80mm/s和手动 |
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测量速度 |
0.02-5mm/s |
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测量方向 |
向前/向后 |
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直线度 |
0.8μm /mm,2μm/mm（当X轴在水平方向上） |
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指示精度 （20℃） |
±（1+0.01L）μm（CV-3100S4,H4,W4） ±（0.8+0.01L）μm（CV-4100S4,H4,W4） ±（1+0.02L）μm（CV-3100S8,H8,W8） ±（0.8+0.02L）μm（CV-3100S8,H8,W8） L为驱动长度（mm） |
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倾斜范围 |
±45° |
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Z2轴（立轴） |
垂直行程 |
300mm或500mm |
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分辨率 |
1μm |
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测量方法 |
ABSQLUTE光栅尺 |
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驱动速度 |
0-20mm/s和手动 |
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Z1轴 |
测量范围 |
±25mm |
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分辨率 |
0.2μm（CV-3100系列） 0.05μm（CV-4100系列） |
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测量方法 |
光栅尺（CV-31000系列） Laser holigage（CV-4100系列） |
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指示精度 （20℃） |
±（2+14H/100）μm（CV-3100系列） ±（0.8+12H/00）0.05μm（CV-4100系列） H为水平位置上的测量高度（mm） |
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探针上下运作 |
弧形运动 |
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探针方向 |
向上/向下 |
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测力 |
30mN |
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跟踪角度 |
向上 |
77° |
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向下 |
87° |
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探针针尖 |
半径 |
25μm |
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材料 |
硬质合金针尖 |
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基座尺寸（WxH） |
750x600mm或1000x450mm |
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基座材料 |
花岗岩 |
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重量 |
主机 |
140kg（S4） 150kg（H4） 155kg（W4） 145lg（S8） 155kg（H8） 160kg（W8） |
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控制装置 |
14kg |
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遥控箱 |
0.9kg |
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电源 |
100-240VAC±10% 50/60Hz |
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能耗 |
400W主机 |
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性能参数
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型号 |
CV-3100S4/ CV-4100S4 |
CV-3100H4/ CV-4100H4 |
CV-3100V4/ CV-4100V4 |
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X1轴测量范围 |
100mm |
100mm |
100mm |
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垂直行程 |
300mm电动立拄 |
500mm电动立拄 |
500mm电动立拄 |
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花岗岩基座尺寸（WxD） |
600x450mm |
600x450mm |
1000x450mm |
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尺寸（主机、WxDxH） |
741x450x905mm |
741x450x1105mm |
1118x450x1111mm |
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重量（主机） |
140kg |
150kg |
155kg |
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型号 |
CV-3100S8/ CV-4100S8 |
CV-3100H8/ CV-4100H8 |
CV-3100V8/ CV-4100V8 |
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X1轴测量范围 |
200mm |
200mm |
200mm |
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垂直行程 |
300mm电动立拄 |
500mm电动立拄 |
500mm电动立拄 |
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花岗岩基座尺寸（WxD） |
600x450mm |
600x450mm |
1000x450mm |
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尺寸（主机、WxDxH） |
741x450x905mm |
767x450x1105mm |
1144x450x1111mm |
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重量（主机） |
145kg |
155kg |
160kg |
