| 仪器型号 | NC-5050 |
| X/Y轴行程 | 500*500 |
| Z轴行程 | 有效空间245mm，调焦行程200mm，工作距离95mm |
| 金属台尺寸 | 900*900 |
| 玻璃台尺寸 | 550*550 |
| 传动型式 | X/Y/Z轴精密线性导轨，X/Y轴精密光轴传动，Z轴研磨级滚珠螺杆传动 |
| 测量伺服驱动系统 |
光学尺分辨率：X/Y/Z轴0.0005mm（0.5um） 测量精度：3um+L/200 重复精度：3um+L/200 Z轴高性能伺服电机，双重闭环控制系统 |
| 影像系统 |
摄像机：日本SONY CCD 视频放大倍数：30-230x 镜头：NAV高清变倍镜头/连续放大倍率0.7-4.5x 可配0.5物镜，放大倍率：15-115x 可配2x物镜，放大倍率：60-460x |
| 光源系统 | 表面光源与投射光源冷光源，寿命长，亮度可调 |
| 仪器外形尺寸 | 0 |
| 仪器重量（kg） | 1400 |
