慧利HOOL L9600 无应力平面检测干涉仪

1.计量领域(平面平晶检测),半导体工业(晶片检测),大平板显示(平面检测) , 手机工业(背板检测) , 光学加工(窗口玻璃检测),高精度精密机械(平面元件检测),LED工业(蓝宝石衬底检测),数据存储和科研校教学仪器等多种领域。2.平面平晶、窗口玻璃、光学平面、金属平面、陶瓷平面等光滑表面面形的高精度快速测量,90°直角棱镜和角锥测量。

型号

HOOL LD9075A

HOOL LD9075AM

HOOL LD9200A

HOOL LD9200AM

HOOL LD9400A

HOOL LD9400AM

HOOL LD9600A

口径

3/4"(19mm)

2"(50mm)

4"(100mm)

6"(150mm)

尺寸

L550*W395*H690

L550*W395*H850

L748*W498*H1040

L798*W598*H1080

重量

43kg

51kg

86kg

116kg

 

测量原理:

斐索干涉原理

光源波长:

632.8nm

样品准直:

使用两个光点

电源:

220V 50HZ/110V 60HZ

操作系统:

Windows7/10,32/64bit

CCD分辨率:

1280*960像素

软件:

H&L-d数字化动态分析软件

精密度:

λ/65 PV

重复性:

λ/50 PV

重复性:

λ/100 RMS

透射平面镜精度:

λ/20 PV

 


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