CINDBEST CGO-4 | 2~6 高低温真空探针台测试系统

极低温测试:

因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。

高温无氧化测试：

当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。

晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。

◆ 腔体规格：

型号：CGO-2/CGO-4/CGO-6

样品台尺寸：2英寸/4英寸/6英寸

样品固定：弹簧压片

观察窗口：2英寸/4英寸/6英寸

真空度：10-6torr

探针臂接口：4~6个探针臂接口

其他接口：电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口

制冷方式：液氮/液氦/制冷机

温度范围：77K到573K/4.5K到573K

温控精度：0.1K/0.01K/0.001K

稳定性：±1K/±0.1K/±0.01K

外形：880mm长*880mm宽*600mm高/980mm长*980mm宽*600mm高

重量：约100千克/120千克

◆ 光学系统：

显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜

放大倍率：16X-200X/20X-4000X

移动行程：水平360度旋转，Z轴行程50.8mm

光源：外置LED环形光源/同轴光源

CCD：200万像素/500万像素/1200万像素

◆ 探针臂：

X-Y-Z移动行程：50mm*50mm*50mm

结构：外置探针臂，真空波纹管结构

移动精度：10微米/1微米

线缆：同轴线/三轴线/射频线

漏电精度：10pA/100fA/10fA

固定探针：弹簧固定/管状固定

接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子

频率支持：DC-67GHZ

针尖直径：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

◆ 其他组件：

真空组件：分子泵组/机械泵/离子泵

冷源组件：50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷机

◆ 可选附件

高温配件

显示器

转接头

射频测试配件

屏蔽箱

光学平台

镀金卡盘

光电测试配件

高压测试配件

分子泵组

激光系统

气敏测试配件

规格及设计如有更改，恕不另行通知。