N90 系列六自由度并联机构,是 θx、θy、θz、X、Y、Z 六轴运动工作台,通过六支压电促动器的协调伸缩实现空间内六个自由度的运动,台体结构紧凑,三种规格型号可供选择,闭环型号定位精度高,是六自由度微操作、微电子精密加工等应用的*。
特点:
• 六轴 θx、θy、θz、X、Y、Z
• 闭环定位精度高
• 小耦合
• 误差无积累