技术应用

l  GASERA ONE CF4分析仪是基于灵敏悬臂梁增强光声光谱探测技术，结合量子级联激光（QCL）光源，工作于CF4的中红外基本光谱吸收峰。这两者的结合提供了足够的灵敏度以无时延的探测*微小浓度的CF4喷溅或者溢出，同时保证了高水平的稳定性。重新校准的周期长达几个月甚至几年，大大减低了体持有成本。

l  运行条件

温度范围：0℃…+49℃

湿度：无凝露

压力范围：750mbar-1050 mbar

防尘/水等级：IP20 (IEC 529)

l  储存条件

温度范围：-20 ℃ ~+60 ℃

l  样品气体条件

温度范围：0 ~ +49 °C

湿度：无凝露，温度达35°C时*相对湿度80%，温度达49°C时线性下降至35%

压力：750 mbar…1050 mbar

气流：约1L/min

颗粒物< 1 μm

测量参数

l  响应时间：取决于用户可定义通道积分时间CIT以及气体冲洗设定。根据平均时间和采样设定从大约15秒到几分钟不等

l  监测下限：N2O 2 ppb，CH4 10 ppb

l  动态量程：5个数量级（检测下限的100,000倍)

l  重复性：运行条件下，校准浓度重复性小于1%

l  准确度：校准浓度下好于5%，受限于校准气体准确度

l  温度稳定性：在运行温度范围内的环境温度变化不会导致漂移

l  压力稳定性：压力范围内的样品压力变化不会导致漂移

可靠的监测

l  高灵敏度的GASERA ONE CF4可以在生产环境中快速的探测污染物。另外，直接吸收式的检测因其零背景的性质，可保证长期高稳定性。GASERA ONE CF4可与其他检测仪器，如颗粒物监测仪等，整合在一个机柜里。

优势

l  准确、可靠和低维护成本的洁净室污染控制

l  快速的响应时间，以捕捉急速上升的浓度

l  独立运行系统，内置气体交换泵

l  无耗材或者化学试剂

l  短光程，单点校准也可达到业内*的动态量程

l  直接吸收测量，无漂移

l  校准间隔长（可达数年）

l  高选择性，不受乙醛和其他VOC的干扰

特点

l  高选择性的监测痕量水平的CF4

l  检测下限(LoD)低于0.1 ppb

l  响应时间可设置，从10秒到几分钟

l  动态范围宽，运行稳定

l  无耗材

l  低样品量（几ml）

l  内置气体交换系统

l  重新校准间隔长（几个月）

l  直观的用户界面

l  内置显示屏，可数字式或者图线式显示结果

l  可通过局域网远程操作