| 型号 | Vertex251HM/HC | Vertex251UM/UC | Vertex311HM/HC | Vertex311UM/UC |
| XY 精度 | Uxy=2.0+L/200 | Uxy=1.8+L/200 | Uxy=2.6+L/200 | Uxy=2.0+L/200 |
| Z 精度 | Uz=2.0+L/150 | Uz=2.0+L/150 | Uz=2.0+L/150 | Uz=2.0+L/150 |
| XY 重现性 | 2.0μm | 1.8μm | 2.6μm | 2.0μm |
| Z 重现性 | 2.0μm | 2.0μm | 2.0μm | 2.0μm |
| XY 加速度 | 500mm/S2 | |||
| Z 加速度 | 200mm/S2 | |||
| XY 移动速度 | 250mm/s | |||
| Z 移动速度 | 100mm/s | |||
| 光学尺分辨率 | 0.1μm | |||
| 量测行程 | 250x160x160mm | 315x315x160mm | ||
| 外形尺寸 | 606x800x775mm | 720x1085x1030mm | ||
| 重量 | 120kg | 150kg | ||
| 承载重量 | 10kg | 12kg | ||
| 基座材质 | 铝合金 | |||
| 传动方式 | Unique Monorail X & Y Design, Monorail Linear Z | |||
| 电控系统 | 伺服系统: CNC, 鼠标,摇杆 | |||
| 光学系统&放大倍率 | 6.5:1光學Zoom,20-390x | 12:1光學Zoom,15-540x | 6.5:1光學Zoom,20-390x | 12:1光學Zoom,15-540x |
| 影像&光源 | 红光LED (黑白系统)或白光 LED(彩色系统) | |||
| 软件 | InSpec for Windows Metrology Software | |||
| 工作环境 | 20℃±2°,30-80% 湿度 | |||
| 备注 | Vertex311系列可选择加高型,Z轴250mm | |||
