
VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。设备标配两个不同大小的真空吸盘,可根据样品尺寸不同选择不同的真空吸盘。VTC-100PA真空旋转涂膜机工作时利用真空盘吸附的方式将样品固定在载样盘上,该设备可储存12组程序,每组程序包含6个运行阶段。不同运行阶段设备转数不同,使设备缓慢提升速度至极限速度,有利于薄膜材料在样品表面均匀成膜,且不会过多浪费,节约材料。VTC-100PA真空旋转涂膜机具有操作简单、清理方便,体积小巧等优点,主要应用于各大专校、科研所的实验室中进行薄膜的生成过程。

1、真空吸附方式固定样件,操作简便。
2、真空度可以达到-0.08MPa。
3、使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置,以减少偏心而造成的震动或飞片。
4、根据样件规格可以配用不同的吸盘,且更换方便简单。
5、电机采用24V直流无刷电机,可靠性高,适应性强,维修与保养简单,噪音低,震动小,运转平稳,启动快速稳定,加速后运行平稳,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。
6、采用无油双杠真空泵,体积小巧、结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。
7、腔体采用聚丙烯材质,使用寿命更长,提高耐化学腐蚀性和优异的抗应力开裂性能;机身采用铸铝结构,结实耐用且质轻。
8、可在惰性气体气氛(如Ar、N2)下进行涂层。
9、全英文操作系统。
10、具有开盖保护功能,当涂膜过程中或涂膜结束时打开上盖后机器立刻迅速减速直到停止。
11、控制界面采用液晶显示屏+单板机控制系统,数值显示更直观可靠。
| 产品名称 | VTC-100真空旋转涂膜机 | |
| 产品型号 | VTC-100 | |
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:设备配有进出水口 2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地 3、气:不需要 4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上 5、通风装置:不需要 | |
| 主要参数 | 1、AC220/110V 50/60Hz 2、功率:600W 3、转速:500-8000rpm 4、可设置两步涂膜程序,转速稳定性为±1%,使涂膜更加均匀。 SPD1转速:500-8000 RPM有效 T1 时间:1--600s有效 SPD2转速:500-8000 RPM有效 T2 时间:1--600s有效 5、载样盘直径100mm,逆时针旋转。 6、使用环境温度5-40℃,相对湿度不大于85%RH, 设备周围无强烈震源和腐蚀气体。 | |
| 产品规格 | 尺寸:260mm×380mm×330mm; 重量:20kg
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| 序号 | 标准配件名称 | 数量 | 图片链接 |
| 1 | 真空吸盘(含O型圈) (Ø19mm和Ø60mm) |
2个 | ![]() ![]() |
| 2 |
中心定位器(含4个定位柱) |
1个 | ![]() |
| 3 |
滴胶注射器(20ml) | 1个 | ![]() |
| 4 |
注射器支架 | 1个 | |
| 5 | 无油真空泵 | 1个 | ![]() |
| 6 |
橡胶管(含卡箍) | 1根 |
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序号 | 可选配件名称 |
功能类别 |
图片链接 |
| 1 |
其它尺寸的真空吸盘 |
(可选) | ![]() |
| 2 |
国产移液枪 |
(可选) | ![]() |
| 3 |
进口移液枪 | (可选) | ![]() |