真空腔体

类型

高温型  室温到400℃

高低温型  室温到400℃  室温到-196℃

腔体材质

304不锈钢

腔体内尺寸

Φ88mmX59mm

腔体外尺寸

Φ112X65mm

腔体重量

约2.6KG

腔体上视窗尺寸

Φ47mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）

腔体抽气口

可扩展KF16法兰 KF25法兰

腔体真空测量口

KF16法兰（其余接口规格可转接）

腔体进气口

公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 硅胶薄膜液体注射口 气管接头可选

腔体电接口

5KV高压电极，10KV高压电极，4芯8A气密封信号接口，8芯4A气密封信号接口，

腔体正压

≤0.1MPa

腔体真空度

机械泵≤5Pa （5分钟）  分子泵≤5E-3Pa（30分钟）

制冷接口

无

3mm液氮管道

样品台

样品台材质

无氧铜（可选纯银热台）

样品台尺寸

26x26mm

样品台加热方式

电阻加热

样品台-视窗 距离

48mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）

样品台测温传感器

PT100型铂电阻

样品台温度

高温型  室温到400℃

高低温型  室温到400℃  室温到-196℃

样品台测温误差

±0.5℃

样品台升温速率

高温50℃/min  *值