高校实验室晶圆测试探针台： 微间距的叉指电极是一种*为常用的微间距电极结构，它被广泛的应用于非破坏性测试、电子通讯、化学测试等多个领域。 一般来说，不同的应用领域对于叉指电极的形状、几何学尺寸、加工工艺、材料的选择、建模分析、系统集成以及数据的分析都有不同的要求，因此对于不同的领域我们应该区分对待。如图所示，列出了几种常见的叉指电极结构，基本的结构有圆形、矩形等，而每条叉指的形状除简单的矩形外，也可有圆形或矩形突起。在这里，我们要根据环境监测的具体要求，针对叉指电极的结构形状进行分析说明和*终的结构选择，确定具体的设计参数根据微弱信号检测的相关原理，在低频信号测量时，电阻值越高，其相应的电阻热噪声和闪烁噪声也就越高，不利于信号的提取和检测[1]。所以，可以通过减少敏感膜电阻值的方法，实现对气体敏感传感器的信号噪声比的提高，从而减小噪声对测量信号的干扰。根据电阻的计算公式，影响阻值变化的因素主要有电阻率、电阻长度及横截面积等。一般情况下，气体敏感材料薄膜的电阻率较高，因此减小敏感膜电阻值的方法是增加敏感膜的厚度或者是增大敏感膜的宽长比。但是，敏感膜的厚度太大会降低气体敏感传感器的响应时间。因此，综合考虑到响应时间和信噪比，需要设计优化气体敏感传感器中微电极的厚度和长宽比。
