实验室涡轮分子泵 高校实验复合分子泵组 是以高速旋动的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵的极限压力可以达到10-9帕以下，对油蒸汽等高分子量气体的压缩比很高，几乎能达到测不出的程度。因而残余气体中油蒸汽的分压力很低。由于轴承用的润滑油仅在泵的出口侧存在，故泵在运转过程中入口处检查不出油的痕迹。因此，涡轮分子泵可以获得清洁无油的高真空。这种泵如果长期不用，轴承处的油蒸汽会扩散到泵的入口侧，降低泵所能达到的清洁程度。为了消除油蒸汽的污染，在工作时，须对泵的入口进行烘烤除气，烘烤温度要严格控制，过高会使叶片变形。有的在停泵时，用压力为13hPa的干燥气体充入泵内，以消除油蒸汽返流造成的污染。 @科探仪器设备收起
