3D表面轮廓仪

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。可测各类从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等

1.半导体减薄片镀膜片晶圆IC粗糙度、微观轮廓分析

2.手机屏 油墨屏粗糙度 、平整度、台阶高分析

3.精密模具光学镜片  粗糙度 平整度 曲率半径 轮廓分析

4.微纳材料镀膜粗糙度膜层、厚度分析

5.磨损元件  粗糙度 轮廓尺寸面积体积参数分析

3D表面轮廓仪

产品功能

1)系统光源及寿命:双LED光源(白光和绿光),10万小时长寿命,终身无需更换;

2)测量模式:垂直扫描干涉模式(VSI),相移干涉模式(PSI),结合VSI和PSI的自适应通用测量模式(USI);

3)多区域自动分析:自动获取图案化形貌区域的三维信息(高度、宽度、面积、体积、粗糙度、倾角等),同时具有自动统计分析功能。

4)具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能;

5)具备表面粗糙度和微观轮廓的检测功能,粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别;

6)具备校平、去除形状、去噪、滤波等数据处理功能;

7)具备粗糙度分析、轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能;

8)具备自动对焦、自动测量、自动多区域测量、自动拼接测量等自动化功能;

9)具备一键分析、多文件分析等快速、批量分析功能;

10)具备word、excel等数据报表导出功能。

一体化操作的测量分析软件

1)测量与分析同界面操作,无须切换,测量数据自动统计,实现了快速批量测量的功能;

2)可视化窗口,便于用户实时观察扫描过程;

3)几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全;

4)一键分析、多文件分析,自由组合分析项保存为分析模板,批量样品一键分析,并提供数据分析与统计图表功能;

5)可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。

3D表面轮廓仪


                                                   手机配件样品测试报告

3D表面轮廓仪


     
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