探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测

量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

该探针台的承载台为 26X26mm 不锈钢台面，台面可升温到 350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针

臂为 X/Y/Z 三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中 X 方向调节范围：0-13mm；y 方向调节范

围：0-13mm；z 方向调节范围：0-13mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再

微调探针支架 X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测