日本FLUORO福乐非接触式晶圆运输伯努利卡盘BC-K5

持手の使用角度20度、45度、90度の3点より本体部を選択してください。
(使用角度は固定角度で、使用角度の変更は本体部を変えないと変更できません)

適応ウエハーサイズ 2インチ 3インチ 4インチ 5インチ 6インチ 8インチ
コードNo. BC-K2 BC-K3 BC-K4 BC-K5 BC-K6 BC-K8
材 質 本体: 導電性MCナイロン、ガイドリング: 帯電防止ポリカーボネート
エアー圧(MPa) 0.1 0.15 0.2
質 量 50g 70g 80g 100g 120g 170g
付属品 導電性チューブ6×4(1.5m)
使用角度 20° / 45° / 90°
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