日本FLUORO福乐非接触式晶圆运输伯努利卡盘BC-P12-300

持手の使用角度は45度のみとなります。

適応ウエハーサイズ 6インチ 8インチ 12インチ
コードNo. BC-P6-300 BC-P8-300 BC-P12-300
材 質 本体: 導電性MCナイロン、ガイドリング: 帯電防止ポリカーボネート
エアー圧（MPa） 0.15 0.2 0.3
質 量 180g 240g 450g
付属品 導電性チューブ6×4（1.5m）
使用角度 45°
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