1) 方阻探头：
由于电阻率范围较大，需要采用两中规格探头，如下：
中量程（上下探头，0.02-1.5Ω*cm，厚度约700um）
高量程（上下探头，1.0-100Ω*cm，厚度约700um）
2) PN探头：
测试样片PN类型
3) 多点测试平台
由于方阻探头采用上下两个探头，因此采用探头固定，晶圆平移及旋转的方式，来进行多点的面测试
4) 厚度探头（选配，可采用手动输入已知厚度的方式）
量程（200um - 1000um），主要用于将方阻探头数据转换为电阻率
5) OCR晶圆ID识别（选配）
自动识别Wafer编码信息
产品示意图
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参数 |
探头 |
说明 |
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组成 |
方阻探头（中） （高） |
方法：非接触式涡流法（两组） 范围：0.1 - 100Ω*cm（Tk≈750um） 重复性：<1% 示值误差：<±3% 单点测量时间：< 1秒 去边：7mm |
型号：ER-PN-1000 (九域半导体科技) |
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PN探头 |
方法：非接触式SPV法 单点测量时间：< 1秒 误判断 < 0.02% |
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测试平台 |
软件控制启动，自动移动至探头待测位置，设备自动测量 |
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厚度探头 (选配） |
方法：电容法 范围：200um - 1000um 重复性： <1% 示值误差：<±5um 单点测量时间：< 1秒 |
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OCR （选配） |
厂商：美国 COGNEX 型号：IN-SIGHT 1740系列晶圆读码器 |
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主机 |
DELL（windows 10）+23寸显示屏 数据分析软件（记录、质控、Mapping） 可接入MES系统 |
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测量过程 |
1、 放置Wafer至样品台 2、 软件设置测量点位 3、软件控制启动，自动移动至探头待测位置，设备自动测量 4、数据（包括PN 和 方阻、厚度、电阻率）、记录、质控、输出文件等 5、根据客户需求可定制MES系统 |
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Wafer信息 |
尺寸：4”-12” 厚度：典型范围：200um-1000um |
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碎片率 |
<1/10000（有暗裂等机台外部因素引起的碎片除外） |
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温度记录 |
可实现平均温度，*温度，*低温度信息 |
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月平均无故障时间 |
平均无故障时间>685H（30天计算） |
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额定功率 |
36W（数据分析模组） + 250W(电脑） |
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产能 |
每片晶片测试37个点，用时60s（不包括换片操作时间） |
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环境温度 |
23 ±5°C |
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电源要求 |
额定电压（220±22）VAC 频率（50±1）Hz |
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提供标样 |
标准片：1片（4寸），电阻率范围1Ω*cm - 10Ω*cm |
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验收判定 |
n 测试条件：设备正常运行后，不低于10片的Wafer进行测试 n 设备性能：满足上述量程内重复性及准确性标准 |
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三、 软件功能
5.1系统预装正版Windows 10*版操作系统
5.2设备安装完全产权测试应用软件
5.3测试方块电阻，电导，电阻率（须输入厚度数据）
5.4软件具备SPC统计功能，输出*值，*小值，平均值，标准方差，均匀性，样品内合格率等
5.5可输入并保存设备编号，批次号，样品号，操作员号
5.6可生成PDF版测试报告，报告包含SPC统计数据以及扫描图
5.7可调用/新建测试菜单
5.8用户可设定测试上限，下限值
5.9可记录样品测试开始时间，结束时间
5.10所有测试信息至少保留1个月以上
5.11厂商免费提供可使用*版本运行软件
六、仪器使用环境
l 环境温度：23 ±5°C
l 环境湿度：（65±20）%RH
l 电源要求：额定电压（220±22）VAC 频率（50±1）Hz
四、安装与验收
1) 物流运输；
2) 仪器至甲方后，乙方在得到甲方通知后（*迟甲方签收仪器后5个工作日），上门为甲方安装通电并协助甲方验收；
3) 验收标准：以本协议第2项技术参数中的“验收判定”内容实施现场验收；
4) 验收合格后甲方为乙方签字确认。
五、技术支持与培训
1) 乙方提供7*12h在线技术支持，2小时内回馈；若需上门服务则在接到甲方通知后24H内至仪器现场；
2) 乙方负责在验收过程中对甲方技术人员现场技术培训；
3) 在质保期内，乙方为甲方提供全套免费技术服务，不限于更换备件等；质保期后，若非人为损坏仪器的维修服务，乙方只收取硬件成本费用；
4) 乙方免费协助甲方将仪器数据对接至甲方MES系统，若需增加硬件则无需甲方承担费用。
六、质保期
本仪器，乙方提供自验收之日起1年质保；
七、发货备件清单
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序号 |
名称 |
数量 |
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1 |
测试仪 |
1台 |
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2 |
电源线 |
1条 |
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3 |
电脑(Windows正版、数据GHOST备份) |
1台 |
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4 |
通讯线 |
1条 |
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5 |
Windows 10*版操作系统 |
1 |
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6 |
测试软件 |
1 |
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7 |
说明书 |
1本 |
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8 |
出厂合格证 |
1个 |
