九域--非接触式厚度分析仪-九域半导体科技（苏州）有限公司

主要特点

本仪器为非接触，非损伤测试，具有测试速度快，重复性佳，测试敏感性高，可以直接测试产品片等优点。

本测试系统采用2个电容传感器A 和 B，以固定A 和 B的间距D，测试 A和 B离开被测物表面的距离，*用已知的D-（A+B）得出被测物的厚度。

参数	探头	说明
组成	厚度探头	方法：非接触式电容探测技术量程：50μm - 1000μm 测量误差：≤±3μm 重复性：≤0.2% 单点测量时间：< 1秒	型号：CT-120 (九域半导体科技)
	控制器	可同时连接电阻率探头和PN探头，可扩展温度探头
	主机	PIPO品铂X10PRO/X10RK 10.1寸高清平板电脑
*测量过程*	1、放置Wafer至样品台待测位置 2、按钮触发测量 3、屏幕显示测试结果
*Wafer信息*	尺寸： 2”-8”
*额定功率*	36W
*环境温度*	23 ±5°C
*电源要求*	额定电压（220±22）VAC 频率（50±1）Hz

仪器使用环境

1) 环境温度：23 ±5°C

2) 环境湿度：（65±20）%RH

3) 电源要求：额定电压（220±22）VAC 频率（50±1）Hz

安装与验收

1) 物流运输；

2) 仪器至甲方后，乙方在得到甲方通知后（*迟甲方签收仪器后5个工作日），上门为甲方安装通电并协助甲方验收；

3) 验收合格后甲方为乙方签字确认。

技术支持与培训

1) 乙方提供7*12h在线技术支持，2小时内回馈；若需上门服务则在接到甲方通知后24H内至仪器现场；

2) 乙方负责在验收过程中对甲方技术人员现场技术培训；

3) 在质保期内，乙方为甲方提供全套免费技术服务，不限于更换备件等；质保期后，若非人为损坏仪器的维修服务，乙方只收取硬件成本费用；

质保期

本仪器，乙方提供自验收之日起1年质保

发货备件清单