九域--非接触式涡流法方阻/PN手持分析仪-九域半导体科技（苏州）有限公司

产品集成方阻（电阻率）、PN型、温度三探头一体式测量，可广泛用于硅片分选机、生产过程分析等光伏及半导体测量领域。本产品由如下部分组成：

1、控制主机

可实现电阻率探头、PN探头、温度探头、光纤信号的统一管理；与远程电脑进行网络通讯。

2、方阻（电阻率）探头

主要利用涡电流测试原理，非接触测试半导体材料，石墨烯，透明导电膜，碳纳米管，金属等材料的电学特性。

3、PN类型检测探头

利用光伏效应，通过测量由光伏效应引起的表面光电压 (SPV), 分析半导体材料相关性质。

主要技术参数

参数	探头	说明
组成	方阻探头	方法：非接触式涡流法范围：1-300Ω/□ (0.1 - 20Ω*cm，Tk≈750um）重复性：<1% 示值误差：<±3% 单点测量时间：< 1秒	型号：R-PN-200 (九域半导体科技)
	PN探头	方法：非接触式SPV法单点测量时间：< 1秒误判断 < 0.02%
	控制器	可同时连接电阻率探头和PN探头，可扩展温度探头
	OCR	COGNEX IN-SIGHT 1740系列晶圆读码器
	主机	DELL（windows 10）+23寸显示屏数据分析软件（记录、质控、Mapping）可接入MES系统
*测量过程*	1、放置Wafer至样品台 2、通过按钮Ocr识别Wafer ID信息 3、手动移动探头至待测位置，按钮触发测量 4、数据显示（包括PN 和方阻或电阻率）、记录、质控、输出文件等 5、根据客户需求可定制MES系统
*Wafer*信息	尺寸：> 2”
*额定功率*	36W（数据分析模组） + 250W(电脑）
*环境温度*	23 ±5°C
*电源要求*	额定电压（220±22）VAC 频率（50±1）Hz
*提供标样*	标准片：1片（4寸），电阻率范围1Ωcm - 10Ωcm
*验收判定*	n 测试条件：设备正常运行后，不低于10片的Wafer进行测试 n 设备性能：满足上述量程内重复性及准确性标准

仪器使用环境

l 环境温度：23 ±5°C

l 环境湿度：（65±20）%RH

l 电源要求：额定电压（220±22）VAC 频率（50±1）Hz

安装与验收

1) 物流运输；

2) 仪器至甲方后，乙方在得到甲方通知后（*迟甲方签收仪器后5个工作日），上门为甲方安装通电并协助甲方验收；

3) 验收标准：以本协议第2项技术参数中的“验收判定”内容实施现场验收；

4) 验收合格后甲方为乙方签字确认。

技术支持与培训

1) 乙方提供7*12h在线技术支持，2小时内回馈；若需上门服务则在接到甲方通知后24H内至仪器现场；

2) 乙方负责在验收过程中对甲方技术人员现场技术培训；

3) 在质保期内，乙方为甲方提供全套免费技术服务，不限于更换备件等；质保期后，若非人为损坏仪器的维修服务，乙方只收取硬件成本费用；

4) 乙方免费协助甲方将仪器数据对接至甲方MES系统，若需增加硬件则无需甲方承担费用。

质保期

本仪器，乙方提供自验收之日起1年质保；

发货备件清单