ULVAC爱发科 真空泵 玉崎 GR90A

规格

型号 GR60A GR90A GR180A
*排气速度 50Hz m3/h(L/min) 62(1030) 112(1030) 183(3100)
60Hz m3/h(L/min) 80(1333) 126(2100) 237(3850)
极限压力 *1 Pa 5.0
*排气压力(吸入圧力) 大气压
*排气口压力(排出圧力) Pa 1.0 ~ 大气压
吸气口 VG50 VG80
排气口 NW40
DRP表面处理
电机 输出 [kW] 2.2 3.7 7.5
电压 [V] 50Hz 200~240/380~415
60Hz 200~240/380~460
质量 kg 128 188 268
冷却方式 冷却水
一次供给压力
MPa 0.1~0.3
冷却水
出入口压差
MPa >0.1
冷却水温度 10~30 *2
冷却水流量 L/min >5.0
氮气 一次侧
供给圧力
MPa 0.1~0.5
二次侧
调整圧力 *3
MPa 0.05 to 0.1 (运作时)
SLM 5.0 *4
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