诺巴迪射频独立系统

一个直观、快捷的操作菜单（可在该组件的多功能前面板上切换，并显示在一个128 x 64像素的液晶显示屏上）带来了无比的便利性——提高了操作人员的效率，并使培训成本很低。此款设备配置13.56MHz的射频输出，可匹配普通型管式炉做等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）使用，是实验室做PECVD镀膜的理想选择
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