真空馈入装置的主要作用是在真空环境中保持物质的传输或能量的传递，确保在真空条件下工作的设备和系统的正常运作。这些装置通常用于半导体生产、科学研究、医疗技术等领域，其中涉及到的技术包括但不限于高真空旋转馈入装置和真空炉馈入装置。
高真空旋转馈入装置主要用于解决现有技术中旋转馈入装置的有效通径小、承重能力差、密封圈容易损坏、密封性差的问题。这种装置通过使用蜗杆和蜗轮作为主传动机构，结构简单，密封圈设置在下法兰内侧，避免直接承受压力，从而延长密封圈的寿命。此外，通过设置交叉滚子轴承降低工作过程中的晃动，提高装置的控制精度，并采用多条密封圈和差分抽气法兰，使装置适用于高真空腔体。
真空炉馈入装置则侧重于防止接线脱落和方便维护整理。这种装置通过特定的设和结构，确保在真空环境下能够稳定、安全地传输物质或能量。
此外，INFICON电气馈入装置DN16ISO-KF采用了数字皮拉尼技术，具有坚固耐用的不锈钢传感器单元和紧凑的设计，适用于半导体系统和标准应用，如真空管线。
综上所述，真空馈入装置在技术和设计上不断创新，以满足不同领域对真空环境下的物质传输和能量传递的需求
