为了降低成本，‌铸造铝合金和钛合金也被用于制作真空腔体。‌真空腔体的内壁通常通过喷砂或电解抛光来获得平坦的表面，‌以减少气体分子的吸附，‌这对于实现高真空至关重要。‌焊接是制作过程中的一个重要环节，‌通常采用氩弧焊来避免氧气与熔化的金属发生反应，‌影响焊接质量。‌为了达到高真空标准，‌腔体还需要进行高温烘烤，‌以去除材料表面和内部的气体。‌

真空腔体由多个零部件构成，‌包括法兰、‌管件、‌密封件、‌紧固件、‌柔性真空软管、‌弹性连接件、‌玻璃视窗等，‌这些部件共同保证了设备内部的真空状态。‌根据定制化的不同，‌真空腔体可分为标准腔和定制腔。‌在真空技术中，‌真空腔体与真空泵、‌真空阀门等一起，‌构成了真空镀膜设备等的关键部分，‌对于许多科学研究和工业应用而言，‌都是不可或缺的组件。