| 模型 | ST200-A | ST200-R | ST200-E（计划发布） | |
| 规格 | 标准规格 | 串行通信规格 | EtherCAT 规格 | |
| 兼容多离子计传感器 | SWT-16(NW16)、SWT-25(NW25) | |||
| 可连接的传感器 |
多离子真空计传感器：1个 皮拉尼真空计SWU10-R：1个（选配） 大气压传感器SAU：1个（选配） |
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| 重复性（N2） | ST200独立模式：±2% | |||
| 采样时间 | 60ms 5次移动平均处理 | |||
| 测量输出 |
输出电压 DC 0 至 10V LOG 输出 0.75V/1 位 压力转换公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2} |
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| 更新时间 | 60毫秒 | |||
| 控制输入信号 | FIL ON/OFF、DEGAS ON/OFF 采用开路集电极输入、负逻辑操作 | - | - | |
| 控制输出信号 |
传感器错误、设定点 1/2/3、发射有效、 灯丝功率监控 额定值：*24V、*50mA 、饱和电压 1V |
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| 串行通信规格 | - | RS232C/RS-485 | EtherCAT | |
| LED表示 | 电源/错误：电源、错误 LED（闪烁状态根据每种模式而变化） | |||
| 发射电流 | 2mA(1×10-2Pa以下), 10μA(1×10-2Pa以上) | |||
| 德加斯 | 电子轰击法，发射电流2mA，栅极电压约330V | |||
| 传感器耐压 | 2×10 +5 Pa（*压力） * 法兰、夹具等的耐压性需另行考虑 | |||
| 传感器内部体积 | 17立方厘米（SWT-16），19立方厘米（ SWT-25） | |||
| 工作温度范围 | 10～50℃ | |||
| 工作湿度范围 | 15至80％（无凝结） | |||
| 保管温度 | -20 至 65°C（不通电时，无凝结） | |||
| IP保护等级 | IP30 | |||
| 电源电压 |
DC20～28V（纹波、噪声1%以下）
8W以下
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| 输入/输出连接器 | D-sub 15针（M2.6螺钉） | |||
