| 抽速（20℃） | 氮 | 升/秒 | 1,700 |
| 氢 | 2,700 | ||
| 氩气 | 1,400 | ||
| 水 | 4,000 | ||
| 到达圧力 | 帕(托) | 10-7 （10-9） | |
| *流量 | 氩气 | 帕・升/秒(托・升/秒) | 1.2×10 3 (8.9) |
| 放电容量 | 氩气 | 帕・升(托・升) | 1.0×10 8 (7.6×10 5 ) |
| 氢 | 1.0×10 6 (7.6×10 3 ) | ||
|
冷却时间 （电源循环） |
*小值(赫兹) | 100/90(50/60) | |
| 入口法兰 | UVG-200,6 B ANSI,UFC-253 | ||
| 压缩机组 | C10T、C10AT | ||
| 质量 | 公斤 | 20.8 | |
*维护间隔：16,000小时
