| 抽速（20℃） | 氮 | 升/秒 | 4,000 |
| 氢 | 6,800 | ||
| 氩气 | 3,300 | ||
| 水 | 9,500 | ||
| 到达圧力 | 帕(托) | 10-7 （10-9） | |
| *流量 | 氩气 | 帕・升/秒(托・升/秒) | 2.0×10 3 (15.0) |
| 放电容量 | 氩气 | 帕・升(托・升) | 3.1×10 8 (2.3×10 6 ) |
| 氢 | 9.8×10 5 (7.4×10 3 ) | ||
|
冷却时间 （电源循环） |
*小值(赫兹) | 90/80(50/60) | |
| 入口法兰 | UVG-300,10 B ANSI | ||
| 压缩机组 | C30VRT | ||
| 质量 | 公斤 | 40 | |
