Spin Processor匀胶旋涂仪
MYCRO公司提供美国原装进口匀胶旋涂仪,请您放心选购!
MYCRO美国原装进口的旋涂仪,自1985年开始,我们便为提供化工半导体材料清洁涂敷处理等特殊工艺。公司拥有WS系列各类旋转涂敷系统,目前客户已遍布全球。
匀胶机有很多种称谓,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机/旋转涂层仪、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机 旋涂仪
请根据您实际需要的大小和材质选择相应的旋涂仪型号:
WS-650-23N
WS-650-8N
WS-650-15N
可选配件:自动滴胶系统UD3、EBR晶圆去边系统UD-3B、TFL特氟龙内衬、针对不同基片材质可定制托盘、单点滴注系统(适用于大剂量滴胶)高性能马达驱动
旋转控制
Mz型高精度旋涂用马达
转速范围:50~12000RPM (注 50RPM是小稳定转速)
大加速度:13000RPM/S;
转速误差:<±0.5RPM @8000RPM NIST标准;
匀胶均匀性:<1% @6 inch Wafer
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赵经理 QQ:2263325039 Email: tchiu@mycroinc.com