直线电机平台
特点:
直线电机结构紧凑、功率损耗小、快移速度高、加速度高、结构简单,定位精度高、反应速度快、灵敏度高, 随动性好、工作安全可靠、寿命长、运动噪声低等优点。
应用范围:
主要面向半导体制造,电子制造设备,生物制药,机械加工设备等高精度定位、检测场合。
气浮平台
特点:
静压气浮导轨具有摩擦小、发热量小、寿命长、精密度高、无污染、无辐射等优点,直线电机驱动具有无接触、速度快、精度高、噪声低等特点
应用范围:
主要面向半导体制造,电子制造设备,生物制药,、航空、航天工业等高精度定位、检测场合。
音圈电机平台
特点:
结构简单、体积小、高速、高加速、高频率、响应快等特性。
应用范围:
主要应用于教学研发、医疗、半导体、航空、航天工业、汽车、激光技术、军工武器等技术领域。