六氟化硫SF6传感器六氟化硫SF6传感器六氟化硫SF6传感器

医用流量传感器的减小包装尺寸R. W. Gehman、M. G. Murray和J. W. Speldrich弗里波特，IL 61032以前在IMAPS技术研讨会上发表的2000年5月3日摘要如何获得每分钟500升（LPM）到0.05升袋？本文将讨论如何实现一系列流量传感器的积极医疗市场需求和如何协调这些要求热电子硅基微结构传感器技术。该设备的目标包括：小功消耗，快速响应时间，小压降满量程，小重复性和迟滞误差，

而且，重要的是，小包装尺寸。在霍尼韦尔开发的原型，这是大的挑战克服了大流量和小规模之间的权衡。流动必须保持在整个层流中。操作范围。本文将讨论技术的选择，在这个市场的技术的历史，分析、建模和实验证明可行的概念，初的产品开发这些努力的结果。关键词：传感器、气流、湍流、层流、微型介绍
，我们生活在一个技术数字化的世界。其中控制和控制系统是基础生活的方方面面。基础建筑任何控制系统的块包括：一个决定制造装置，执行器决策，一系列传感器提供信息关于当前的情况和趋势系统和连接到其他系统组件。微电子的设计与制造用于感测空气质量流量的热传感器。